A Renesas Electronics FS2012 sorozat egy MEMS áramlásérzékelőt tartalmaz, amely egy áramköri lapra van szerelve, áramlásház és érzékelőjel-kondicionáló alkatrészekkel. 6 tűs standard fejrész a teljesen kalibrált analóg és digitális kimenethez (I2C) egyaránt. A 0 és 2 közötti SLPM tartományban lévő gáz mérésére szolgál.
Teljesen kalibrált kimenet Robusztus, szilárd szigetelési technológia Nincs üreg a MEMS-érzékelőben, ami eltömődést okozhat Ellenáll a rezgésnek és a nyomáslökésnek Gyors válaszidejű
